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Parker 气体质量流量控制器

Parker气体质量流量控制器• 流量范围从0-5sccm到0-1000slpm(氮气)• 设定点的响应时间不超过1sec• 控制精度可达实际流量的1%• I/O(输入输出)可选模拟和数字信号• 可
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产品描述

Parker气体质量流量控制器

• 流量范围从0-5sccm到0-1000slpm(氮气)

• 设定点的响应时间不超过1sec

• 控制精度可达实际流量的1%

• I/O(输入&输出)可选模拟和数字信号

• 可实现本地/远程设置/显示


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